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上海雋思實驗儀器有限公司
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PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱 工業(yè)烘箱

參   考   價: 15690

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌雋思

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時間:2023-05-30 08:55:11瀏覽次數(shù):1675次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線
材質(zhì) 不銹鋼 工作室尺寸 350mm
類型 恒溫 適用范圍 PI/BCB/LCP/CPI半導體
溫度范圍 400℃
PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺CPI固化,LCP纖維熱處理、晶圓干燥烘烤等工藝

PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱

PI固化爐用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI固化,晶圓干燥烘烤等工藝,主要用于集成電路、化合物半導體、MEMS微機電、TFT/LCD等半導體相關行業(yè)。


通用性,全自動運行真空固化,2寸-12寸/碎片兼容。

保證性強,可達5PPM氧氣下實現(xiàn)真空固化。

時效性,多功能冷卻方式,縮短了工藝時間,降低成本,提高生產(chǎn)能力。

能耗低,真空狀態(tài)固化,節(jié)約了80%N?量。

無污染,腔體內(nèi)部所有材料均為316L醫(yī)用級不銹鋼,無任何顆粒產(chǎn)生。


PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱

溫度:MAX400度

真空度:低于100Pa

操作:彩色人機界面,一鍵運行

冷卻方式:水冷卻+風冷

氣路:1路N2

程序模式:程序運行10個,每個程序可設置25步

隔熱材料:陶瓷纖維

工作腔:1/2/4/8可選

PI亞胺化厭氧爐工藝要求(參考):

  1. 在低氧狀態(tài)下使用

  2. 真空加熱,升溫至1xx℃

  3. 再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;

  4. 繼續(xù)升溫至x00℃,視涂層厚度不同加熱10-x0min

  5. 保溫 約60min;

  6. 降溫至100℃以下




無氧烘箱(BCB固化爐),真空無氧烘箱(PI固化爐),無塵烘箱,HMDS烘箱,硅烷蒸鍍機,無塵無氧烘箱,氮氣烘箱,鼓風真空烘箱,高精度熱板,超低溫試驗箱,快溫變試驗箱,恒溫恒濕試驗箱,高低溫沖擊試驗箱等設備,以及非標定制。---上海雋思儀器專業(yè)生產(chǎn)/服務


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