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ME-210/ME-210-T日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀
參考價(jià): 550000
訂貨量: 1000臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • ME-210/ME-210-T 產(chǎn)品型號(hào)
  • 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 深圳市 所在地

訪問(wèn)次數(shù):939更新時(shí)間:2023-04-07 08:59:19

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T
這是一款高速映射橢圓儀,可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。
產(chǎn)品介紹

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T


這是一款高速映射橢圓儀,可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。

規(guī)格

  • 測(cè)量

重復(fù)性
  • 膜厚:0.1nm
    折射率:0.001 *SiO2膜的一點(diǎn)(膜厚:約100nm)重復(fù)測(cè)量100次時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差值。

測(cè)量速度
  • 最大測(cè)量速度
    900 點(diǎn)/分鐘以上(寬模式,測(cè)量 100 平方毫米面積時(shí))
    5,000 點(diǎn)/分鐘或以上(高清晰模式,測(cè)量 1 平方毫米面積時(shí))

光源
  • 半導(dǎo)體激光器(振蕩波長(zhǎng)636nm)

測(cè)量點(diǎn)
  • 廣域模式:0.5 平方毫米
    高清模式:5.5 微米平方

入射角
  • 70度

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • 270×337×最大631mm

兼容透明基材
  • 兼容 ME-210-T
    不兼容 ME-210


  • 住房

舞臺(tái)尺寸
  • 支持最大 8 英寸晶圓
    (最大 ?300 mm 可選)

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • ME-210-T 650×650×1744mm
    ME-210 650×650×1740mm

重量
  • 約200公斤

界面
  • GigE(相機(jī)信號(hào))


  • 其他的

界面
  • GigE(相機(jī)信號(hào))

電源
  • AC100-240V

軟件
  • ME-視圖

配件
  • 臺(tái)式電腦、顯示器、使用說(shuō)明書(shū)、標(biāo)準(zhǔn)樣品




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