硅是地球上儲藏的材料之一，單晶硅也稱硅單晶，是電子信息材料中最基礎性材料，屬半導體材料類。單晶硅主要用于半導體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。利用單晶硅的性質制造生產工藝用超純水設備。

　　工藝流程

　　預處理系統-反滲透系統

　　水質標準

　　國家電子級純水標準

　　單晶硅純水機工藝流程

　　● 預處理系統-反滲透系統-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

　　● 預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)

　　● 預處理-一級反滲透-二級反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM) (新工藝)

　　● 預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥5MΩ.CM)(新工藝)

　　● 預處理系統-反滲透系統-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

　　● 預處理系統-反滲透系統-粗混合床-精密過濾器-用水對象 (≥5MΩ.CM)(傳統工藝)

　　單晶硅純水機水質標準

　　國家電子級純水標準

　　單晶硅純水機設備要求

　　為達到符合標準的水質，盡可能地減少各級的污染，延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上，取達到國家自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床系統(EDI電除鹽系統)等。 系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，具有更高的性價比和設備可靠性。

　　單晶硅純水機處理系統

　　①混床離子交換純化柱

　　②EDI裝置

　　③除熱原超濾膜

　　④紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器

　　⑤終端過濾器