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行業(yè)產(chǎn)品

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長春市博盛量子科技產(chǎn)品貿(mào)易有限公司


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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-08-21 08:01:06瀏覽次數(shù)：117次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-LR品牌名稱：德國ATLLasertechnikATLEX-LR系列適合低負(fù)荷使用，專門為激光剝蝕(LaserAblation)而設(shè)計(jì)；激光為193nm輸出優(yōu)化，同時(shí)具有非?？斓纳仙睾透叻逯倒β?/p>

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-LR

品牌名稱：德國ATL Lasertechnik

  

ATLEX-LR 系列適合低負(fù)荷使用，專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 而設(shè)計(jì)；激光為193nm 輸出優(yōu)化，同時(shí)具有非?？斓纳仙睾透叻逯倒β省?/span>

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

· 軟電暈預(yù)電離

· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器

· 激光頭容積 < 3L

· TMC（全金屬陶瓷）管路

· 集成真空泵和鹵素過濾器

· 全部風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理

· RS-485、RS232、USB及光纖接口

· 可沖洗光具座

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)

· 符合RoHS規(guī)范

 

產(chǎn)品參數(shù)：

 

ATLEX-LR產(chǎn)品參數(shù)

氣體介質(zhì)

ArF

單位

波長

193

nm

脈沖能量1

12

mJ

能量穩(wěn)定選項(xiàng)輸出

10

mJ

脈沖寬度2

5

ns

光束尺寸2(V x H)

4 x 6

mm

光束發(fā)散角2(V x H)

1 x 2

mrad

能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）

< 2

%

尺寸（長x寬x高）

540 x 470 x 370

mm

重量

60

kg

冷卻

Air

 

電力需求

230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

 

所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。

1 在重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。

2 典型值，FWHM


關(guān)鍵詞：真空泵

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