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更新時(shí)間:2024-08-21 08:01:06瀏覽次數(shù):117次
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產(chǎn)品型號(hào):ATLEX-LR品牌名稱:德國ATLLasertechnikATLEX-LR系列適合低負(fù)荷使用,專門為激光剝蝕(LaserAblation)而設(shè)計(jì);激光為193nm輸出優(yōu)化,同時(shí)具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β?/p>
產(chǎn)品型號(hào):ATLEX-LR
品牌名稱:德國ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列適合低負(fù)荷使用,專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 而設(shè)計(jì);激光為193nm 輸出優(yōu)化,同時(shí)具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β省?/span>
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風(fēng)冷,主動(dòng)熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品參數(shù):
ATLEX-LR產(chǎn)品參數(shù) | ||
氣體介質(zhì) | ArF | 單位 |
波長 | 193 | nm |
脈沖能量1 | 12 | mJ |
能量穩(wěn)定選項(xiàng)輸出 | 10 | mJ |
脈沖寬度2 | 5 | ns |
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm |
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad |
能量穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差) | < 2 | % |
尺寸(長x寬x高) | 540 x 470 x 370 | mm |
重量 | 60 | kg |
冷卻 | Air | |
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的,恕不另行通知。
1 在重復(fù)頻率情況下測(cè)得: 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM
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