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秋山科技(東莞)有限公司
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日本motoyama薄膜晶體制造設備LPE爐技術

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日本motoyama薄膜晶體制造設備LPE爐技術

 

設備概述

LPE(液體,相位,外延)薄膜晶體制造設備在日本擁有100多個單位。它由高精度垂直管式爐,旋轉升降驅動軸和控制單元組成,控制單元具有*的溫度控制精度,可實現高效的薄膜晶體生產。

 

特征

  • 優異的均熱特性
  • 高精度樣品軸旋轉升降驅動機構
  • 也可以添加到現有的熔爐中(有限制)

選項

  • 惰性氣體引入機制
  • 液體接觸電信號
  • 排氣罩
  • 根據實際制造過程進行計算機自動操作控制(也可以中斷手動操作)

通過預先輸入過程詳細信息,將以確定的值自動執行目的地,移動速度,旋轉狀態和旋轉速度。

LPE薄膜晶體制造設備規格

 加熱器容量

單相200V 2.3kW x 3個區域

 加熱室尺寸
 直徑x高度mm

φ280×H650毫米

 常溫

800℃?900℃

 z高溫度

1000℃

 溫度分布

±2℃(空氣爐穩定在850℃時,φ100×H200mm的空間)

 溫度波動范圍

±0.2℃(空氣爐穩定在850℃時,φ100×H200mm的空間) 

 加熱元件

SSS加熱器

 芯管

φ220×φ205×L800mm

 

 LPE熔爐驅動單元(樣品軸)規格

 提升速度

20-300毫米/分鐘

 停止精度

 ±1mm以內

 旋轉方式

前進/后退

 轉速

20-300 rpm(帶軟啟動)

 轉速波動精度

在±1%FS之內

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