美國MOOG伺服閥公司的發展史：在二戰末期，伺服閥是用螺線管直接驅動閥芯運動的單級開環控制閥。然隨著控 制理論的成熟及軍事應用的需要，伺服閥的研制和發展取得了巨大成就。 1946 年， 英國 Tinsiey 獲得了兩級閥的；Raytheon 和 Bell 航空發明了帶反饋的兩級閥；M IT 用力矩馬達替代了螺線管使馬達消耗的功率更小而線性度更好。1950 年，W.C.M oog *個發明了單噴嘴兩級伺服閥。
1953 年至 1955 年間，T.H.Carson 發明了機 械反饋式兩級伺服閥； W.C.Moog 發明了雙噴嘴兩級伺服閥；Wolpin 發明了干式力矩 馬達，消除了原來浸在油液內的力矩馬達由油液污染帶來的可靠性問題。 1957 年 R. Atchley 利用 Askania 射流管原理研制了兩級射流管伺服閥。并于 1959 年研制了三 級電反饋伺服閥。 1959 年 2 月國外某液壓與氣動雜志對當時的伺服閥情況作了 12 頁的報道， 顯示 了當時伺服閥蓬勃發展的狀況。那時生產各種類型的伺服閥的制造商有 20 多家。各 生產廠家為了爭奪伺服閥生產的霸權地位展開了激烈地競爭。回顧歷史，可以看到zui 終取勝的幾個廠家，大多數生產具有反饋及力矩馬達的兩級伺服閥。我們可以看到
美國MOOG伺服閥公司的發展史1 960 年的伺服閥已具有現代伺服閥的許多特點。如：第二級對*級反饋形成閉環控 制；采用干式力矩馬達；前置級對功率級的壓力恢復通常可達到 50%；*級的機械 對稱結構減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時，由早期的直動型開環控制閥發 展變化而來的直動型兩級閉環控制伺服閥也已出現。當時的伺服閥主要用于軍事領域， 隨著太空時代的到來，伺服閥又被廣泛用于航天領域，并研制出高可靠性的多余度伺 服閥等產品。 與此同時，隨著伺服閥工業運用場合的不斷擴大，某些生產廠家研制出了專門使 用于工業場合的工業伺服閥。如 Moog 公司就在 1963 年推出了*款專為工業場合 使用的 73 系列伺服閥產品。隨后，越來越多的專為工業用途研制的伺服閥出現了。
它們具有如下的特征： 較大的體積以方便制造； 閥體采用鋁材 （需要時亦可采用鋼材） ； 獨立的*級以方便調整及維修；主要使用在 14MPa 以下的低壓場合；盡量形成系 列化、標準化產品。然而 Moog 公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應用場合主要集 中在高壓場合，一般工作壓力在 21MPa，有的甚至到 35MPa，這就使閥的設計專重 于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業場合的廣泛運用，各公司均推出了各自 的適合工業場合用的比例閥。其特點為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過先 進的控制技術和*的電子裝置以彌補其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973 年， Moog 公司按工業使用的需要， 把某些伺服閥轉換成工業場合的比例閥標準接口。 Bosch 研制出了其標志性的射流管先導級及電反饋的平板型伺服閥。
1974 年，Moog 公司推出了低成本、大流量的三級電反饋伺服閥。Vickers 公司研制了壓力補償的 K G 型比例閥。Rexroth、Bosch 及其他公司研制了用兩個線圈分別控制閥芯兩方向運 動的比例閥等等。美國MOOG伺服閥公司的發展史 三 國內外的現狀 1 市場情況 目前，國內生產伺服閥的廠家主要有：航空工業總公司第六 O 九研究所、航空 工業總公司第六一八研究所、航空工業總公司秦峰機床廠、北京機床研究所、中國運 載火箭技術研究院第十八研究所、上海航天控制工程研究所及中國船舶重工集團公D663-1922E-4
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