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北京維意真空技術應用有限責任公司
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更新時間:2022-08-25 14:22:51瀏覽次數(shù):319次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線快速熱處理退火爐簡稱RTP(RapidThermalProcessingFurnace),由我公司借鑒了制造工藝,在管式爐的基礎上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質的飛躍,降溫速率100℃/S。 應用領域 ?快速熱退火(RTA);離子注入后退火 ?石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長 ?快速熱氧化(,RTO);熱氮化(RTN); ?硅化(S
快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鑒了制造工藝,在管式爐的基礎上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質的飛躍,降溫速率100℃/S。
應用領域
? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
? 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長
? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 擴散 (Diffusion);
? 離子注入后退火 (Implant Annealing);
? 電極合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);
主要特點
? 極速升溫100℃/S,極速降溫100℃/S;
? 雙層爐管結構,氣氛與樣品接觸更均勻;
? 樣品實際溫度數(shù)據(jù)可通過手機APP導出excel表格(選配);
技術參數(shù):
產品名稱 | RTP快速升溫爐 |
產品型號 | RTP1100 |
額定溫度 | 1100℃ |
溫場均勻性 | ±2℃ |
爐膛升溫速率 | ≥100℃/S |
降溫速率 | ≥100℃/S |
操控系統(tǒng) | 智能AIO操作系統(tǒng) |
操作界面 | 7英寸觸摸屏 |
加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
加熱腔體結構 | 雙層石英管 |
外管直徑 | 100mm |
內管直徑 | 80mm |
氣體保護方式 | 外管進氣,內管出氣 |
超溫保護 | 溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路 |
式樣有效空間 | 70*100mm |
真空系統(tǒng) | 8L/S雙級聯(lián)真空系統(tǒng)(選配) |
整機真空度 | 3Pa |
真空啟動方式 | 根據(jù)程序設置自動啟停 |
抽氣端口尺寸 | KF16 |
供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
法蘭冷卻方式 | 水冷(短時間無需水冷)(可選配水冷機) |
真空顯示 | 真空壓力表(可選配數(shù)顯真空計) |
上位機操控 | 基于安卓系統(tǒng)APP(選配) |
數(shù)據(jù)導出方式 | APP導出Excel表格(選配) |
額定功率 | 12kw |
外形尺寸 | 950*500*560mm |
重量 | 50kg |
配件 | 管堵2支,法蘭水冷套1支,耐溫手套1雙,坩堝鉗1把,說明書1本。 |
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