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多功能快速退火爐

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更新時間:2022-08-25 14:22:51瀏覽次數:320次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:79條

所在地區:北京北京市

聯系人:于磊 (銷售部經理)

產品簡介

快速熱處理退火爐簡稱RTP(RapidThermalProcessingFurnace),由我公司借鑒了制造工藝,在管式爐的基礎上自主研發而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質的飛躍,降溫速率100℃/S。  應用領域  ?快速熱退火(RTA);離子注入后退火  ?石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長  ?快速熱氧化(,RTO);熱氮化(RTN);  ?硅化(S

詳細介紹

  快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鑒了制造工藝,在管式爐的基礎上自主研發而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質的飛躍,降溫速率100℃/S。

  應用領域

  ? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

  ? 石墨烯等氣象沉積,碳納米管等外延生長

  ? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

  ? 硅化 (Silicidation);

  ? 擴散 (Diffusion);

  ? 離子注入后退火 (Implant Annealing);

  ? 電極合金化 (Contact Alloying);

  ? 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

  主要特點

  ? 極速升溫100℃/S,極速降溫100℃/S;

  ? 雙層爐管結構,氣氛與樣品接觸更均勻;

  ? 樣品實際溫度數據可通過手機APP導出excel表格(選配);

  技術參數:

產品名稱

RTP快速升溫爐

產品型號

RTP1100

額定溫度

1100℃

溫場均勻性

±2℃

爐膛升溫速率

≥100℃/S

降溫速率

≥100℃/S

操控系統

智能AIO操作系統

操作界面

7英寸觸摸屏

加熱方式

短波紅外線加熱

加熱腔體結構

雙層石英管

外管直徑

100mm

內管直徑

80mm

氣體保護方式

外管進氣,內管出氣

超溫保護

溫度出現過高時切斷主回路

式樣有效空間

70*100mm

真空系統

8L/S雙級聯真空系統(選配)

整機真空度

3Pa

真空啟動方式

根據程序設置自動啟停

抽氣端口尺寸

KF16

供氣口尺寸

1/4英寸雙卡套

法蘭冷卻方式

水冷(短時間無需水冷)(可選配水冷機)

真空顯示

真空壓力表(可選配數顯真空計)

上位機操控

基于安卓系統APP(選配)

數據導出方式

APP導出Excel表格(選配)

額定功率

12kw

外形尺寸

950*500*560mm

重量

50kg

配件

管堵2支,法蘭水冷套1支,耐溫手套1雙,坩堝鉗1把,說明書1本。

 

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
暫未實現,敬請期待
暫未實現,敬請期待

關鍵詞:壓力表 真空計

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