全自動晶圓型接觸角測量儀-XDC-500W
設備規格 | |
設備主機 | |
外形尺寸 | 900mm（長）×550mm(寬)×730mm(高) |
重量 | 30KG |
整機調節 | 整機水平測試/調節 |
電源 | |
電壓 | 100～240VAC |
功率 | 150W |
頻率 | 50/60HZ |
空間 | |
平臺尺寸 | 12in |
試樣 | 12in×15mm |
樣品臺調節 | 自動3D移動平臺 |
行程160mm，精度0.1mm | |
攝像系統 | |
圖像 | 5000（H）× 4000（V） |
幀率 | 200fps（可升級更高幀數） |
傳感器 | SONY 1/1.8" |
光譜 | 黑白/彩色 |
ROI | 自定義 |
顯示線寬 | 自定義 |
曝光時間 | 自定義 |
電源 | 5 VDC USB 接口 |
傳輸 | USB3 Vision |
顯微鏡頭 | |
焦距 | 200mm±5mm（變焦調節） |
倍率 | 10倍 |
視角調節 | ±10° |
分辨率標度 | 4～14um |
采集系統調節 | 俯視/仰視/平視 |
光源 | |
類型 | 單波長工業LED（冷光） |
波長 | 470nm |
光場 | φ50mm |
光點 | 96粒密集式 |
壽命 | 50000Hour |
注射系統 | |
滴液方式 | 精密 |
控制方式 | 軟件數字控制 |
滴液精度 | 0.01μl |
注射器 | 高精密氣密性注射器 |
接液方式 | 精密電機控制 |
接液高度 | 智能判定 |
容量 | 100μl/500μl/1000μl(標配500μl) |
針頭 | 0.51mm全不銹鋼超疏水針頭(標配) |
速度 | 1μL/min ～2000μL/min |
軟件 | |
接觸角范圍 | 0～180° |
分辨率 | 0.01° |
全自動測量 | 全自動一鍵測量功能 |
數據量 | 一鍵分析12in晶圓>100個數值 |
形態譜圖 | 2D形態數據譜圖 |
接觸角測量方式 | 全自動、半自動、手動 |
分析方式 | 懸滴法、停滴法（2/3態）、氣泡捕獲法、座滴法、座針法、插板法 |
分析方法 | 靜態分析、自動增液縮液動態分析、潤濕動態分析、實時分析、雙邊分析、前進后退角分析 |
測試方法 | 圓法、橢圓/斜橢圓法、微分圓/微分橢圓法、Young-lapalace、寬高法、切線法、區間法 |
表/界面張力測試 | |
測試范圍 | 0～3000mN/m |
分辨率 | 0.01 mN/m |
張力測量方式 | 全自動 |
分析方式 | 氣泡捕獲法、懸滴法、實時譜圖 |
表面自由能 | |
測試方法 | Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數 |
數據處理 | |
輸出方式 | 自動生成，可導出/打印EXCEL、Word、譜圖等多種報告格式 |
