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HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱

參考價(jià) 98960
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)JS-HMDS90
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/5/21 16:53:25
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)1093
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“雋思儀器”)是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線(xiàn)纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶(hù)提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線(xiàn)電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專(zhuān)業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專(zhuān)業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶(hù)的*稱(chēng)贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿(mǎn)的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)!





HMDS烘箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),超低溫試驗(yàn)箱
材質(zhì) 316L不銹鋼 工作室尺寸 45mm
功率 2500 加工定制
類(lèi)型 真空 適用范圍 MEMS,氮化鎵,砷化鎵,半導(dǎo)體
溫度范圍 110-160℃
HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對(duì)晶圓表面進(jìn)行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。
HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱 產(chǎn)品信息

HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱用途

  二合一真空腔體帶來(lái)更低的成本、更高的效率和更可靠的工藝。的溫控、工藝時(shí)間和腔體尺寸控制系統(tǒng)讓您用更少的化學(xué)品,實(shí)現(xiàn)對(duì)沉積過(guò)程環(huán)境的掌控。

   智能型HMDS真空系統(tǒng)可快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對(duì)晶圓表面進(jìn)行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

有效的光刻膠處理是后續(xù)所有工藝步驟的基礎(chǔ),只有被處理的表面才能準(zhǔn)確復(fù)制,避免蝕刻不足或邊緣粗糙。JS-HMDS系列真空系統(tǒng)可脫水晶圓,使HMDS 層附著力更強(qiáng),即使暴露于大氣濕氣數(shù)周也能保持穩(wěn)定。

智能型HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng)特點(diǎn)

通過(guò)使用六甲基二硅氮烷(HMDS)對(duì)晶圓表面進(jìn)行快速、均勻、且成本效益高的硅烷化處理,有效增強(qiáng)了與光刻膠的粘合性。

真空鍍膜技術(shù)能脫水晶圓,確保了更強(qiáng)的粘接強(qiáng)度。

即便長(zhǎng)時(shí)間暴露于潮濕的空氣中,HMDS層也能維持其穩(wěn)定性。

我們的控制系統(tǒng)支持用戶(hù)根據(jù)需要選擇溫度、處理時(shí)長(zhǎng)及腔室尺寸。

此外,我們的技術(shù)還能降低化學(xué)物品的使用量和成本,實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益。

通過(guò)工藝處理,達(dá)到圖像反轉(zhuǎn)效果,解決了圖像反轉(zhuǎn)光刻膠的復(fù)雜性。

HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱參數(shù)

設(shè)備型號(hào):JS-HMDS90AI                       

工作室尺寸(mm): 450×450×450,650*650*650,可自定
材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或不銹鋼,內(nèi)箱采用316L級(jí)不銹鋼
溫度范圍:RT+10-200℃ 
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動(dòng)度:≤±0.5
真空度:1torr
潔凈度:設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
控制儀表:人機(jī)界面
擱板層數(shù):2層
HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量
真空泵:旋片式油泵或干泵
保護(hù)裝置:HMDS藥液泄漏報(bào)警裝置,HMDS自動(dòng)添加,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)


關(guān)鍵詞:真空泵 人機(jī)界面
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