OPF-H-C系列高性能氣浮隔振光學(xué)平臺是我司結(jié)合多年在隔振領(lǐng)域的研發(fā)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，引進(jìn)國際的隔振技術(shù)而開發(fā)出的一款高性能科研級隔振平臺。該隔振平臺的氣浮隔振腿內(nèi)部采用了零摩擦三線擺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以更大程度的隔離水平方向上的振動(dòng)。在隔振器設(shè)計(jì)中還引入了大柔性體積的混合腔室設(shè)計(jì)和層流阻尼技術(shù)，大大降低了固有頻率和提高了阻尼效率。

整體分為臺面、圓柱形獨(dú)立氣浮隔振器、氣泵三部分。臺面內(nèi)部采用桁架式六角蜂窩結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，垂直粘接的三芯蜂窩，每個(gè)蜂窩單元都使用三重芯板接觸面，確保了的剛度和的蜂窩芯與面板、底板粘合接觸面積，極大提高了平臺整體的粘接強(qiáng)度和性能，蜂窩芯密度：≥260kg/m³。每個(gè)螺紋孔下面都有一個(gè)高強(qiáng)度耐腐蝕的隔離杯（孔深~20mm），便于用戶取回小零件或樣品，同時(shí)也起到防水防塵等作用。上臺面材料選用1Cr17高導(dǎo)磁不銹鋼，表面亞光密迪紋理處理，具有很好的耐腐蝕性能。

主要應(yīng)用于超高分辨光學(xué)成像、超快實(shí)驗(yàn)、激光干涉實(shí)驗(yàn)、量子光學(xué)、精密光學(xué)測量等對振動(dòng)有非常高要求的精密實(shí)驗(yàn)。

的技術(shù)設(shè)計(jì)（示意圖）：

固有頻率測試結(jié)果（上圖為垂直方向，下圖為水平方向）：

隔振效率：

技術(shù)參數(shù)：

l 水平方式：自動(dòng)充氣，自動(dòng)平衡

l 固有頻率：1～1.7Hz（垂直），1～1.4Hz（水平）

l 隔振效率：垂直隔振87%-94%@5Hz，92%-97%@10Hz；水平隔振80%-90%@5Hz，92%-98%@10Hz

l 重復(fù)定位精度：±0.10mm

l 自平衡氣浮隔振腿：內(nèi)部采用的三線擺設(shè)計(jì)，大柔性體積的混合腔室結(jié)構(gòu)，層流阻尼技術(shù)。獨(dú)立大圓柱腿，高性能復(fù)合材料氣囊

l 臺面厚度：100/150/200/250/300/400mm

l 臺面平面度：≤±0.1mm/m²

l 臺面粗糙度：0.6~1.5μm

l 臺面孔間距：25mm（機(jī)械打孔），孔徑：M6螺紋孔，孔邊距：37.5mm

l 總高度：800mm，可調(diào)范圍：±10mm

l 無油氣泵，噪音<50db

選型表：

部分客戶案例：

浙江大學(xué)（規(guī)格：3000*1500*800mm）

西湖大學(xué)