易于使用

Sensofar 致力于為客戶提供令人難以置信的體驗。隨著第五代 S neox 系統的誕生，我們的目標是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學者，只需點擊一下，即可操作測量。模塊化設計的軟件，使系統適應用戶多樣的需求。

的速度

通過采用新的智能和的算法以及新型相機，達到的速度。數據采集速度達180fps。標準測量采集速度比以前快5倍。S neox 成為市場上速度的表面測量系統。

Sensofar 的四合一方法—只需點擊一 次， 系統即可切換到適合當前測量任務的技術。在 S neox 傳感器頭中配置 三種測量技術—共聚焦、干涉、Ai 多焦 面疊加和膜厚測量這些都為系統的多功 能性做出了重要貢獻，并有助于限度地減少數據采集中的噪點。S neox 是 所有實驗室環境的理想之選,適用范圍廣泛。

表面紋理特征
SO 25178標準是國際標準化組織面向3D面層表面紋理分析的相關國際標準。這是 3D 表面紋理規范和測量中，國際標準，特別是定義了 3D 表面紋理參數及相關規范運算符。根據 ISO25178 和 ISO4287 計算表面參數。計算高度、空間、混合、功能和體積參數。自 2009 年以來，Sensofar一直是國際標準化組織 (ISO/TC213 WG16) 技術委員會的成員。

主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發的光學技術。這項技術基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領域的廣泛專業知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數據，這一點已經得到了改進。該技術的亮點包括高斜率表(高達 86o),的速度(3 mm/s）和較大的垂直范圍測量。

共聚焦輪廓儀的開發目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供的橫向分辨率，可達 0.15μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面，可允許 86°。的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。

薄膜測量技術快速、準確、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統獲取可見光范圍內樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到擬合?？梢栽诓坏揭幻腌姷臅r間內測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，最小可低至 0.5μm，可達 40μm。

共聚焦測量技術將采集時間穩步減少 3 倍。連續共聚焦模式通過同時掃描面內和 Z 軸，避免了經典共聚焦的離散（耗時）面與面采集。對于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時間至關重要。

HDR
高動態范圍減少高反射表面上的反射和脫落點。

智能噪音檢測
S neox 使用檢測算法(SND) 檢測那些不可靠的數據像素。與使用空間平均的其他技術相比， S neox 在不損失橫向分辨率的情況下逐像素處理。

LED光源的優勢
用LED做照明光源要比用激光更有優勢。首先LED光源可以避免發生激光光源的散斑現象。其次LED光源的使用壽命約50000小時（約25倍于激光）。最重要的是多個LED就意味著可以根據樣品的需求選擇的波長來測量。

多波長LED光源
SNEOX內置4顆LED光源：紅(630nm), 綠(530nm), 藍（460nm)和白光。短波長的光可以滿足需要更高水平分辨率的應用。而長波長的光可以提供更好的光學相干性，可達20um, 使相差干涉可以掃描光滑表面上的大區域。此外，紅、綠和藍光的交替照明還能提升色彩的真實性和還原性。

微分干涉 (DIC) 用于強調在正常觀察中沒有對比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski 棱鏡，產生了干涉圖像，解決了在明視場或共聚焦圖像中不可見的亞納米級結構。

高分辨率
垂直分辨率受到儀器噪聲的限制，儀器噪聲對于干涉測量是固定的，但共聚焦測量依賴的數值孔徑。Sensofar 專有算法以光學儀器的橫向分辨率為測量技術提供納米級系統噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3 nm) 原子層。由 PTB 提供。

高坡度

顯微鏡物鏡的數值孔徑 (NA) 限制了光學平滑表面上的可測斜率，而光學粗糙表面或散射表面提供的信號超出了該限制。Sensofar算法設計在光滑表面上測量達 71o(0.95 NA)，在粗糙樣品上測量高達 86°。

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