介紹
VEGA第四代鎢燈絲掃描電子顯微鏡,采用全新的 Essence™ 電鏡操控軟件系統,集成了Essence™ EDS 分析平臺,將掃描形貌圖像與元素實時分析集成于同一個掃描窗口中,大大簡化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數據分析工作,使得全新的第四代VEGA SEM成為在樣品檢測及研究方面的更高效的分析手段。
大視野光路(Wide Field Optics™)
n在2倍放大倍率視野下,無需導航相機即可輕松實現樣品導航。
n大視野無畸變的圖像實時觀測,可連續放大感興趣的區域,無需光學導航相機。
n與預傾斜樣品臺配合使用,對于需要傾斜分析的樣品,支持掃描傾斜校正,從而實現更精準的導航。
實時電子束追蹤技術(In Flight Beam Tracing™)
n無需更換光闌調節電子束強度,電子束強度連續可調;
n一鍵即可達到理想分辨率的束流
n 中間鏡設計(Intermediate LensTM)
Single VacTM 模式
專為觀測不導電樣品和電子束敏感的樣品設計
nVEGA標配全新的 SingleVac™ 模式,出廠預設了 SingleVac™ 的真空值,無需表面導電涂層處理,可直接觀察不導電樣品
nUniVac™ 模式(選配)實現壓力的持續可調,可變壓力可達 500 Pa
n真空緩沖節能單元(Vacuum Buffer)(選配),可顯著縮短機械泵的運行時間
n4Q BSE探測器可從不同角度采集信號
注:VEGA Compact不具備Single VacTM 模式
集成的Essence™ EDS 分析平臺
Essence™ 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實現SEM成像和元素成分分析
n無需第三方附件及鏈接
n無需進行SEM與EDS圖像的位置,標尺及亮度對比度的調節
n無需二次采集圖像
nSEM 圖像沒有邊緣畸變
Essence™ 3D防碰撞模塊
n3D圖像直觀顯示探測器及樣品臺的位置
n快速搜索
n操作步驟撤銷,提升操作效率或防止誤操作
應用案例