WXLMM-100×100工業顯微鏡直線電機平臺是專門針對工業級(及金相顯微鏡)研發設計的產品,相比傳統的絲桿驅動平臺,它具有精度更佳、響應更快、速度更高、壽命更長的優點。而且由于直線電機屬于非接觸式直驅機構,幾乎無噪音,是傳統顯微鏡平臺的優化升級產品。
主要尺寸及性能參數:
行程 | 100mm x 100mm |
*光柵分辨率 | 50nm |
最小步長 | 100nm |
重復定位精度 | ≤±250nm |
速度 | ≥300mm/s |
導軌類型 | 交叉滾柱導軌 |
負載 | ≥5kg |
主體材質 | 航空級鋁合金 |
表面處理 | 上滑臺面噴砂及硬質陽極氧化,其余結構件普通陽極氧化 |
直驅機構,無回程間隙 |
*默認產品分辨率為50nm,可選20nm/100nm/0.5 um/1um/5um 等,分辨率的改變會導致平臺速度以及重復定位精度的變化,詳細情況請進一步咨詢廠家
特別注意事項:
1、直線電機平臺屬于高精度精密設備,因此如果希望得到性能,需要保證足夠的使用環境,尤其在使用要求重復定位精度小于1um的設備上,所有指標的復現都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等,詳細要求可進一步聯系廠家咨詢溝通
2、所有平臺可單獨訂購,如對設備的精度以及性能要求較高,推薦使用文信光機自主生產的控制器搭配控制器出貨的產品,在出廠檢驗中都會做針對性的優化和校準,是您高要求使用的。