液體流量計 SLQ-QT105
針對半導體應用
SLQ-QT105針對要求苛刻的涂料系統的定做，是高達120 ml/min流量的烴基液體的半導體級-傳感器解決方案。
該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術，開辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速響應時間有助于高度動態過程的準確監測，如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件，無運動部件，通過一個筆直的流道壁進行非侵入性測量。所提供的智能數字接口(如RS485)可實現具有總線能力的遠距離通訊。
對于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體，請參閱我們的液體流量計SLQ-QT500。
性能參數
- 烴基液體的流量：120 ml/min
- 適用于光致抗蝕劑和溶劑
- 低至流量的靈敏度
- 快速響應時間低至30 ms
- RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
- 的耐化學性
- 惰性觸液材質：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
- 保證純度
- 筆直流道，無運動部件
- 工作壓力：3 bar（可按要求提供高壓強等級）
應用
- 半導體過程控制
- 光刻膠分配
- 快速給藥操作
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