OLS5100激光共聚焦顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實驗設計，實現高效實驗的實用功能
具有出色精度和光學性能的LEXT™OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統更加易于使用的智能工具。其能夠快速高效完成亞微米級形貌和表面粗糙度的準確測量任務，既簡化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質量數據。
二、OLS5100激光共聚焦顯微鏡產品特點：
1、簡化測量檢測流程
LEXTOLS5100顯微鏡的智能實驗管理助手（SmartExperimentManager）通過自動完成需要耗費大量時間的任務幫助您簡化實驗工作流程。
?自動創建您的實驗計劃
?將數據自動填充到實驗計劃矩陣中，減少錯誤輸入的機會
?一目了然的數據趨勢可視化工具
?需要使用實驗流輔助應用程序OLS51-S-ETA。
2、值得您信賴的數據
專為LEXT顯微鏡設計的物鏡能夠提供高度準確的數據，確保顯微鏡的測量精度。與智能物鏡選擇助手（SmartLensAdvisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數據。
?針對405nm波長優化的LEXT光學器件可減少像差，從而能夠在整個視場獲取到樣品的真實形貌
?智能物鏡選擇助手（SmartLensAdvisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進行粗糙度測量。
3、按下按鈕即可獲得可靠數據
精心設計的軟件讓新手和經驗豐富的用戶都能夠輕松使用顯微鏡。
?輕松獲得準確數據-將樣品放在載物臺上按下開始按鈕即可
?在客戶的實驗環境下也能提供有保證的測試結果
三、體驗激光顯微鏡的優勢
1、亞微米3D觀察/測量、觀察納米范圍的臺階，并可測量亞微米級別的高度差。
2、ISO25178-符合標準的表面粗糙度測量、可測量從線到面的表面粗糙度。
3、非接觸、無損且快速、無需制備樣品-只需將樣品放在載物臺上即可測量。
四、產品配置：
1、LEXTOLS5100顯微鏡配備彩色成像和激光共焦兩套光學系統，能夠同時獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
2、彩色光學系統、彩色成像光學系統使用白光LED光源和CMOS成像傳感器獲取彩色信息。
3、3D形貌信息和高分辨率圖像、激光共焦光學系統采用405nm激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲取共聚焦圖像。淺焦深特性使其能用于測量樣品的表面不規則性。
4、用短波長激光光源的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550nm）的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。OLS5100顯微鏡的405nm激光光源能夠獲得出色的橫向分辨率。
主機
型號 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
總倍率 | 54x–17,280x | ||||
視場 | 16 µm–5,120 µm | ||||
測量原理 | 光學系統 | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | |||
光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） | ||||
高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | |||
動態范圍 | 16位 | ||||
重復性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | ||||
準確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） | ||||
拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) | ||||
測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 nm | |||
重復性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm | ||||
準確度*1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5% | ||||
拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm]） | ||||
單次測量時*大測量點數量 | 4096 × 4096像素 | ||||
*大測量點數量 | 3600萬像素 | ||||
XY載物臺配置 | 長度測量模塊 | • | 不適用 | 不適用 | • |
工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動 | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | |
激光光源 | 波長 | 405 nm | |||
*大輸出 | 0.95 mW | ||||
激光等級 | 2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
彩色光源 | 白光LED | ||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
質量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
控制箱 | 約 12 kg | ||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。
*5 基于奧林巴斯認證系統下的保證。
