江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4500的方案介紹:
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4500可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,*光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發現觀察對象。此外,對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉(DIC) 觀察中,可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
實現納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法,不會丟失觀察對象。此外,該款顯微鏡可以進行納米級觀測。
OLS4500實現了無縫觀察和測量
【發現】可以迅速發現觀察對象
使用光學顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發揮了光學觀察的特長, 除了使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成, 來顯示亮度平衡更好、強調了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
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BF 明視場 使用的觀察方法。在觀察中真實再 現樣品的顏色。適用于觀察有明暗對比 的樣品。 | DIC 微分干涉 對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差, 添加明暗對比使之變為立體可視。適用于觀察金 相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 或異物等。 |
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簡易偏振光 照射偏振光(有著特定振動方向的光線), 使樣品的偏光性變為肉眼可視。適用于觀 察金相組織、礦物、半導體材料等。 | HDR 高動態范圍 使用不同曝光時間拍攝多張影像并進行影像合成, 可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 外,還可以強調紋理(表面狀態),進行更精細的 觀察。 |
實現了無縫觀察,不會丟失觀察對象
OLS4500在電動物鏡轉換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實時觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心, 所以把觀察目標點對準該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。

主機 規格 | ||||
LSM部分 | 光源、檢出系統 | 光源:405 nm半導體激光、檢出系統:光電倍增管 | ||
總倍率 | 108~17,280X | |||
變焦 | 光學變焦:1~8X | |||
測量 | 平面測量 | 重復性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm | |
正確性 | 測量值的±2%以內 | |||
高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | ||
行程 | 10mm | |||
內置比例尺 | 0.8nm | |||
移動分辨率 | 10nm | |||
顯示分辨率 | 1nm | |||
重復性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm | |||
正確性 | 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度) | |||
彩色觀察部分 | 光源、檢出系統 | 光源:白色LED、檢出系統:1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
變焦 | 碼變焦:1~8X | |||
物鏡轉換器 | 6孔電動物鏡轉換器 | |||
微分干涉單元 | 微分干涉滑片:U-DICR、內置偏振光片單元 | |||
物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X | |||
Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
XY載物臺 | 100 x 100 mm(電動載物臺) | |||
SPM部分 | 運行模式 | 接觸模式、動態模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* | ||
位移檢出系統 | 光杠桿法 | |||
光源 | 659 nm半導體激光 | |||
檢出設備 | 光電檢測器 | |||
掃描范圍 | X-Y: 30 μm x 30 μm、Z: 4.6 μm | |||
安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整專用工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調整。 | |||
系統 | 總重量 | 約440 kg(不包含電腦桌) | ||
I額定輸入 | 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |
*該功能為選項功能。
物鏡 規格 | ||||
型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離(W.D.) | 數值孔徑(N.A.) |
MPLFLN5X | 108-864X | 2,560-320μm | 20.0mm | 0.15 |
MPLAPON20XLEXT | 432-3,456X | 640-80μm | 1.0mm | 0.60 |
MPLAPON50XLEXT | 1,080-8,640X | 256-32μm | 0.35mm | 0.95 |
MPLAPON100XLEXT | 2,160-17,280X | 128-16μm | 0.35mm | 0.95 |
微懸臂 規格 | |||||||||
用途 | 型號 | 類型 | 探針數量 | 微懸臂 | 探針 | 材質 | 金屬膜 涂層 | ||
共振頻率 (kHz) | 彈簧常數 (N/m) | 高度 (μm) | 前端半徑 (nm) | 探針/ 微懸臂 | 探針涂層/ 反射涂層 | ||||
動態模式/ 相位模式 | OMCL-AC160TS-C3 | 標準硅膠 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 無 / Al |
OMCL-AC160BN-A2 | 高縱橫比硅膠 | 12 | 300 | 42 | 9 | 8 | Si / Si | 無/無 | |
OMCL-AC240TS-C3 | 低彈簧常數硅膠 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 無/Al | |
接觸模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 標準氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 無/Au |
表面電位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 電氣測量專用硅膠 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
• 微懸臂、探針的機械特性及尺寸均為代表值。
• 微懸臂非常小,請注意不要傷到眼睛或不小心吞咽。
• 電流模式、磁力模式中使用的微懸臂的詳細信息,請咨詢經銷商。
• 除上表以外,還有其他規格的微懸臂。經銷商。