VOC廢氣處理技術——氧化法，對于有毒、有害，而且不需要回收的VOC，熱氧化法是非常適合的處理技術和方法。
氧化法的基本原理：VOC與O2發生氧化反應，生成CO2和H2O。
一般情況下，氧化法通過兩種方法可確保氧化反應的順利進行：
a) 加熱。使含有VOC的有機廢氣達到反應溫度;
b) 使用催化劑。如果溫度比較低，則氧化反應可在催化劑表面進行。
所以，有機廢氣處理的氧化法分為以下兩種方法：
a) 催化氧化法。現階段，催化氧化法使用的催化劑有兩種，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。
b) 熱氧化法。熱氧化法當前分為三種：熱力燃燒式、間壁式、蓄熱式。三種方法的主要區別在于熱量回收方式。這三種方法均能與催化法結合，降低化學反應的反應溫度。
蓄熱式有機廢氣焚燒爐工藝流程說明：
待處理有機廢氣進入蓄熱室1的陶瓷蓄熱體（該陶瓷蓄熱體“貯存”了上一循環的熱量），陶瓷蓄熱體放熱降溫，而有機廢氣吸熱升溫。
廢氣離開蓄熱室后以較高的溫度進入氧化室。在氧化室中由VOCs氧化升溫或燃燒器加熱升溫至氧化溫度820℃，使其中的VOCs成分分解成二氧化碳和水。
凈化的高溫氣體離開氧化室，進入蓄熱室2（在前面的循環中已被冷卻）放熱降溫，之后進入換熱器進行熱能回用后經煙囪排入大氣，同時引小股凈化氣清掃蓄熱室3。而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫，用于下一個循環加熱廢氣。
循環完成后，進氣與出氣閥門進行一次切換，進入下一個循環，廢氣由蓄熱室2進入，蓄熱室3排出。在切換之后，清掃蓄熱室1。如此交替切換，實現連續處理VOCs廢氣。
蓄熱式有機廢氣焚燒爐—RTO
- 所需溫度：攝氏800-900度
- 低于500ppm的甲苯濃度也可以啟動自燃性系統設計
- 可實現與RCO配合使用
- 適用于大風量、低濃度，適用于有機廢氣濃度在100PPM—20000PPM之間。其操作費用低,有機廢氣濃度在450PPM以上時
- RTO裝置不需添加輔助燃料
- 凈化率高，兩床式RTO凈化率能達到98%以上，三床式RTO凈化率能達到99%以上，并且不產生NOX等二次污染
